Официальный поставщик KASHIYAMA в России и странах СНГ

Компактные безмасляные насосы с воздушным охлаждением NeoDry7E, NeoDry15E, NeoDry30E, NeoDry36E, NeoDry60E, NeoDry100E и NeoDry300E: многоступенчатые роторы Рутса вращаются без контакта, быстрота действия от 110 до 5000 л/мин, предельное давление от 0,3 до 5 Па в зависимости от модели, газобалласт с подачей азота, присоединение NW25, NW40 и NW50, питание однофазное 100–120 В, 200–240 В или трёхфазное 200–240 В. Подбор по быстроте действия, предельному давлению, напряжению и объёму паров. Вакуумная сушка, сушка электродов, дегазация, вакуумная формовка, упаковка и розлив, сублимационная сушка, испарители, форвакуум для турбомолекулярных насосов, электронные микроскопы, масс-спектрометры, центрифуги и ускорители.

Линейка в новом корпусе NeoDry7G, NeoDry15G, NeoDry30G и NeoDry36G с воздушным охлаждением и сетевым входом 100–240 В однофазным: быстрота действия 110, 250, 500 и 600 л/мин, предельное давление от 0,7 до 5 Па, уровень шума 45–51 дБ(А), откачка водяного пара до 350 г/ч с газобалластом, потребляемая мощность 0,28–0,55 кВт, масса от 19 до 51 кг, вход NW25 или NW40. Подбор по быстроте действия, предельному давлению и допустимому содержанию паров. Прямая замена пластинчато-роторных и спиральных насосов, откачка конденсирующихся газов — водяного пара и растворителей.

Насосы NeoDry в исполнении для откачки растворителей, для откачки водорода и в малошумном исполнении, газобалластный клапан с подачей азота для конденсирующихся газов, агрегаты NeoDry в комбинации с механическими бустерными насосами Рутса и с турбомолекулярными насосами. Подбор по составу откачиваемой среды, требуемому давлению и быстроте действия системы. Откачка паров растворителей, водяного пара и гелия, вакуумное напыление, газовое замещение, плазменная очистка.

Насосы для техпроцессов производства полупроводников и плоских дисплеев (FPD). Серия SD: энергосберегающие SDX600, SDX1200 и SDX1800 для агрессивных процессов, SDT600, SDT1200, SDT1800, SDH3000 и SDH6000 для особо тяжёлых процессов, быстрота действия от 10 000 до 100 000 л/мин, предельное давление 0,3–0,5 Па, продувка азотом до 120 л/мин, водяное охлаждение. Винтовые SDE90X, SDE120TX, SDE200, SDE303X/TX, SDE603X/TX и SDE1203X/TX от 1300 до 20 000 л/мин с вертикальным винтовым ротором и коррозионностойкими материалами, опции подогрева насоса и трубопроводов, бустерные насосы, мониторинг CMS, комплексные системы с блоком нейтрализации газов. Энергосберегающие MUP600E, MUP1200E, MUP1800E и MUH3000 до 50 000 л/мин, MU100PE/HE–MU600PE/HE с горячей продувкой азотом у MU-HE, MU100XE–MU1200XE с потреблением от 0,25 кВт и соответствием SEMI, CE и NRTL. Агрегаты SDL12E50, SDL20E50, SDL36E60 и SDL3600 до 60 000 л/мин для шлюзовых камер больших пластин и FPD. Подбор по процессу, быстроте действия, продувке и температурному режиму. Травление металлов, Al и W, PE-CVD, SA-CVD, LP-CVD, Metal-CVD, ALD.

Компактные моноблочные насосы с непосредственным приводом от электродвигателя LEM6, LEM20MA и LEM40MA с рабочим колесом из медного сплава у моделей MA: мощность 0,4–1,5 кВт, быстрота действия от 6,5 до 40 м³/ч, присоединение Rc3/8, Rc3/4 и 25 мм, встроенный клапан постоянного расхода рабочей воды. Полностью из нержавеющей стали LEM40SS и LEM60SS: мощность 1,5 и 2,2 кВт, быстрота действия от 34 до 60 м³/ч, расход рабочей воды 5 л/мин, откачка газов с водяным паром и каплями воды, горючих и коррозионно-активных газов, рабочая жидкость — в том числе растворители и щелочные растворы, возможна циркуляция рабочей жидкости без сброса. Предельное давление 7,3×10³ Па, колесо эльмо-типа, торцевое уплотнение вала. Подбор по быстроте действия, частоте сети 50 или 60 Гц, составу газа и материалу проточной части. Отсасывающие устройства, заливка центробежных насосов, вакуумное охлаждение, сушка, выпаривание и дезодорация в химической промышленности.

Двухступенчатые насосы для более глубокого вакуума LEH30MS, LEH50MS, LEH100MS, LEH150MS, LEH200MS и LEH300MS с рабочим колесом из нержавеющей стали: мощность двигателя от 2,2 до 15 кВт, быстрота действия от 22 до 300 м³/ч, предельное давление 2,7×10³ Па, присоединение 25, 40 и 50 мм, расход воды 5–15 л/мин. Подбор по быстроте действия, частоте сети 50 или 60 Гц и составу откачиваемой среды. Вакуумная сушка и пропитка, пневмотранспорт сыпучих материалов, вакуумное литьё и крашение, вакуумные фильтры, обезвоживание на бумагоделательных машинах.